ПРИМЕНЕНИЕ В ТЕНЗОДАТЧИКАХ РЕЗИСТОРОВ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ ПО ТОЛСТОСЛОЙНОЙ ТЕХНОЛОГИИ, НЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ К НИЗКИМ ТЕМПЕРАТУРАМ

Аннотация

Тензодатчик с толстослойными резисторами имеет большой потенциал для применения в гражданском строительстве благодаря относительно высокой чувствительности к напряжению, стабильности, низкой себестоимости и длительному сроку службы. Тем не менее постоянным недостатком тензодатчиков является их термочувствительность. Для решения этой проблемы желательно предложить и изготовить тензорезистор с толстослойными резисторами, не чувствительными к низким температурам. В этой статье систематически исследовано влияние компонентов резисторной пасты и температуры обжига на температурный коэффициент сопротивления (TCR) толстослойного резистора. Исследованы толстослойные резисторы, изготовленные из RuO₂ концентраций от 10 до 30 % по массе, прокаленных при различных температурах, на подложке из Al2O₃. Исследована взаимосвязь между сопротивлением резистора, TCR и масштабным коэффициентом (GF). Результаты показывают, что TCR также увеличивается с увеличением концентрации RuO₂ и температуры обжига. Вблизи минимума (T_min) кривой сопротивление – температура температура оказывает наименьшее влияние на значение сопротивления, и толстослойный резистор можно считать нечувствительным к температуре в определенном диапазоне. Отношение TCR к GF и T_min зависит от сопротивления слоя толстослойных резисторов. Изменяя концентрацию проводящей фазы и температуру обжига, можно контролировать сопротивление слоя толстослойных резисторов и получать низко-температурные тензорезисторы для различных температур окружающей среды.